• 品質因細節而決定

奈米級超高解析度檢測系統 X-Ray Image 產品型號:Nanomex

nanomex 是超高分辨率的奈米焦點X射線檢測系統,用於檢測半導體及SMT產業的高品質的組件和相關部件。可用於2D X射線檢測,以及全3D電腦斷層掃描(nanoCT®),搭配全新的x|act軟體模組,與nanomex選配系統,可滿足玲缺陷檢測要求。

#非破壞性分析X-RAY
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    1. 滿足最高檢測要求,如半導體和SMT的高精密封裝產品。
    2. 高功率nm焦點管(4合1),實現從nm分辨到高功率多種應用。
    3. 可配高清晰分辨的數位影像系統,100萬畫素即時數位圖像。
    4. 180 kV/ 15W的高功率微聚焦管具有高達200nm的細部檢測能力。
    5. 先進的射線能量穩定技術。
    6. 維修率低,壽命長,開放式nanofocus®光管。
    7. 人體工學設計,操作更簡便。
    8. 高度的可再現性。 可升級到nanoCT®系統

    ■ 產品特點
    1. 可結合2D/3D的CT操作模式
    2. 傑出的操作便利性
    3. 鑽石靶材可有效的提升光管強度,藉此提升影像品質
  • 設備規格 內容說明
    最大管電壓 180 kV
    最大功率 20 W
    細部檢測能力 高達0.2 μm
    最小焦物距 0.3 mm
    最小體素解析度 < 0.3um
    幾何放大倍率(3D) 300倍
    最大目標尺寸(高 x 直徑) 250 x 240 mm
    最大目標重量 3kg/6.6lbs.
    圖像鏈 100萬圖元的數位圖像鏈
    操作 4軸(X, T, Z, R)
    3D CT掃描 可以
    系統尺寸 1980 mm x 1600 mm x 925 mm
    系統重量 1900kg / 4190 lbs 
    輻射安全
    • 全防輻射安全機櫃,依據德國ROV和美國性能標準21 CFR 1020.40 (機櫃X-Ray系統)
    • 輻射洩漏率:從機台壁的10cm處測量 <1.0µSv/h
  • ▶ SMT廠
    ▶ IC廠
    ▶ BGA 基板
    ▶ 精密零組件
    ▶ 電子零件
    ▶ PCBA 組裝
    ▶ 半導體封裝

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