X-ray螢光-XRF 『XRF氟化鈣分析』Hitachi EA1400 高效監控純度與成分品質

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『XRF氟化鈣分析』Hitachi EA1400 高效監控純度與成分品質

隨著半導體製程技術日益進步，所產生的副產物亦日趨複雜，特別是含氫氟酸等強腐蝕性成分的廢酸氟液，其處理方式成為極具挑戰性的環保與回收課題。為有效回收並再利用生成的氟化鈣（CaF₂），同時確保其純度與安全性，業界日益仰賴XRF元素分析技術進行精密控管。其中，Hitachi EA1400 XRF分析儀因其快速、非破壞與高靈敏特性，成為先進製程中兼顧安全、成本與效率的重要解決方案。

氟化鈣回收再利用的技術瓶頸 氟化鈣回收再利用的技術瓶頸

隨著政策規範與企業ESG責任日益嚴格，許多廠商開始積極投入廢酸氟液的處理與資源再生。其中，將其轉化為氟化鈣（CaF₂）作為下游應用材料，是一種具經濟效益的可行方案。然而，處理後的氟化鈣若要進一步用於光學玻璃、冶金助熔劑或高階化學製品，則其純度與殘留元素控制（如：Ca、P、S、Cl、Si等）變得至關重要，直接影響材料性能與後續應用安全。

目前業界多數分析技術選用如「WDXRF（波長色散X射線螢光光譜）或ICP-OES/MS（感應耦合電漿光譜／質譜）」等大型高端設備來進行檢測。儘管這些技術具備極高靈敏度與準確度，但其檢測成本高昂、前處理程序繁瑣、操作複雜且檢測時間長，不利於高頻率與現場快速監控的需求。

過去檢測方式無法完全掌握氟化鈣之快速分析先機

▲圖一過去檢測方式無法完全掌握氟化鈣之快速分析先機

XRF技術的應用突破——HITACHI EA1400的解決方案
鑑於上述痛點，HITACHI EA1400桌上型XRF螢光元素儀（EDXRF），提供一種具成本效益、快速且穩定的解決方案。此儀器專為非破壞性元素分析所設計，無須複雜前處理，即可在短時間內完成樣品中多元素的同步偵測與定量。
特別針對氟化鈣粉體樣品，Hitachi EA1400 XRF展現出極佳的檢測靈敏度與重複性，適用於監測以下關鍵元素：

➢ 鈣（Ca）：主成分，作為純度判斷依據

➢ 磷（P）、硫（S）：可能來自原料或混酸殘留，影響產品等級

➢ 氯（Cl）：可能造成下游腐蝕問題

➢ 矽（Si）：玻璃反應槽或環境背景干擾，須有效控管

現今已可使用EA1400進行氟化鈣快速分析-(部分有害物質)

▲圖二現今已可使用EA1400進行氟化鈣快速分析-(部分有害物質)

現今已可使用EA1400進行氟化鈣快速分析-(主要鈣含量)

▲圖三現今已可使用EA1400進行氟化鈣快速分析-(主要鈣含量)

✨HITACHI EA1400的技術優勢✨

專案	技術特色與應用優勢
分析非缺陷	精華液消解，可直接壓片或粉末精華液杯分析
分析速度快	每個樣品分析時間極快，適合樣品大量篩選
操作不當	無需專業操作人員，常規操作訓練後即可上手
精準穩定	搭載Hitachi專有演算法與自動校正功能，確保數據穩定性與一致性
低運維成本	無須高耗材、氣體與複雜維修，長期使用具經濟效益

此外，EA1400具備多段能量濾波器與自動切換功能，可針對輕元素進行有效優化，使P、S、Cl等過去屬於EDXRF弱項的元素，也能達到可用的定量辨識與趨勢監控精度，特別適用於製程品質控管、材料驗收與環保合規用途。

從成本到效能的全面升級

對於廢酸氟液回收再利用領域而言，產品品質控管的儀器選擇關乎整體產業鏈效率與獲利空間。HITACHI EA1400作為一款具備穩定表現與經濟操作優勢的桌上型XRF系統，勝於過往分析儀器的技術瓶頸，提供企業從研發、品管到出貨皆可應用的全方位解決方案。

在未來高純材料循環再生的大趨勢下，透過導入高效率、低門檻的元素分析技術，企業不僅能提升檢測能量，更可實現綠色永續、效率導向、品質為本的生產理念。

若有任何技術問題或產品需求，歡迎與我們聯絡！
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