X-ray螢光-XRF 樣品真的NG嗎!? XRF能譜判讀教學

平常在使用桌上型XRF進行樣品測試時，儀器會幫您判定RoHS管制的有害物質元素濃度是否超標，但假如您遇到測試結果NG，可以藉由XRF能譜判讀來進一步分析。科邁斯今天針對這個問題提供淺顯易懂的方法讓各位桌上型XRF使用者對於能譜有初步的判讀能力。

能譜基本說明-何謂能譜和波峰

▲圖1 能譜和波峰基本說明

上圖的X軸Y軸分別為：

X軸單位：eV，Electron Volt，電子伏特→影響樣品裡含有的元素每個元素的螢光都不一樣，有特定的位置。
▲圖2 能譜X軸代表元素能量
Y軸單位：cps，Counts Per Second，每秒計數量→影響樣品裡元素的濃度同類型的樣品不同濃度，對應的「量」會不一樣。(可見下圖左、右二圖差異)
▲圖3 能譜Y軸代表元素強度

綜合以上我們可以得知：
X軸上的波峰我們可以得知元素
Y軸上波峰的強度我們可以計算出元素濃度

▲圖4 能譜波峰可得知元素和濃度

認識完能譜波峰對應元素和濃度的關係，再來可以進一步了解如何判斷元素的波峰。

如何判斷波峰

首先認識元素的分析線—分析線是用來標示「理論上元素的波峰應該在的位置」。

▲圖5 能譜中如何判斷波峰

而判定的方法主要有三個原則：
A. 波峰是否在分析線上
B. 波峰是否為對稱波峰，可能因干擾而波峰不對稱
C. 複數個分析線有波峰，可能沒有或看不到波峰

▲圖6 判斷原則的A、B、C

下面為三個原則做實例示範：依照A原則來判定下圖的波峰，因為波峰不在分析線上所以此案例不符合A原則。

▲圖7 判斷原則的A

而依照B原則來看下圖Pb的La分析線對應到的波峰不對稱所以不符合B原則。

▲圖8 判斷原則的B

再來我們用C原則來分析下圖，可以很明顯地看到圖中Pb的兩條分析線只有左邊一條對應到波峰上，右邊另一條並沒有波峰所以不符合C原則。

▲圖9 判斷原則的C

用ABC三個原則判定下圖，分析線有波峰、波峰對稱、有複數波峰上述條件皆符合，那我們幾乎可認定該元素的存在。

▲圖10 判斷原則皆符合

經過以上的介紹相信大家對桌上型XRF的能譜判讀有了初步的了解和認識，剛接觸XRF能譜判讀需要較多的測試結果和經驗累積，也有些案例是使用者自己較難去判斷的部分，可經由產生多重能譜讓科邁斯技術服務團隊協助判斷。

科邁斯有專業的技術服務團隊及測試RoHS項目的桌上型XRF設備能提供相關的技術服務，深耕業界多年在各產業領域也有許多經驗，實務方面也處理過各種能譜方面的問題，如有無法判斷或分析困難的案件歡迎與我們聯繫討論。

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