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- 技術原理 -
17.Oct.2007

X-ray螢光-XRF 波長分散方式(WDS-XRF)與能量分散方式(EDS-XRF)之比較

文章-橫幅
波長分散方式(WDS-XRF)與能量分散方式(EDS-XRF)之比較
 
       種類/說明
項 目
波長分散方式
(WDS)
能量分散方式
(EDS)
說 明
分析元素
Be~U
Na(C)~U
波長分散式用於玻璃及礦物研究
能量分散式用於一般塑料/土壤/金屬/檢測及品管
多元素同時測定
單個元素
多元素
WDS的設定,可同時測定最大28個元素,一般用逐次方式測定(每個元素需要一定的時間)。
EDS可全元素分析
測定濃度範圍
1 ppm~100%
1.7 ppm~100%
EDS的檢出下限常因目的元素和基質而異,而WDS則根據裝備的分光晶體而有所不同。
能量解析度
約0.2%~
約2.5%~
EDS的解析度較差,但用波峰分離軟體可實現接近波峰的分離和定量。
樣品前處理
需要
不需要
WDS雖然解析度高但樣品不規則,及不同厚度及基值亦會影響數據, 受樣品表面的精細度和顆粒度的影響,欲測得精確的定量必須對樣品進行塊狀加工、表面研磨等前處理。
EDS可分析不規則樣品, SII的EDS甚至已考量樣品厚度, 種類, 精準量測。
測定時間
數分~數十分鐘
數十秒
EDS可用短時間進行多種元素的同時測定。
對測定元素的影響
有(無)
無關
EDS因立體角度大,最大必v為50w左右,WDS則必須利用分光晶體,所以必v一般為數kw左右。因此,樣品為輕元素(纖維、塑膠、半導體等)時,照射時間會變長,並受熱量的損壞。
操作性
複雜
簡單
WDS測定條件設定複雜, 。
EDS操作條件設定簡單。
儀器尺寸與重量
大型(落地型)
小型(台式)
EDS只須添加所需量的液態氮,不需特別設備,而WDS則因必v大,需迴圈冷卻水裝置與樣品的前處理。
儀器價格
價格高
價格低
 
適合何種測定
開發研究
常規測定
開發研究完全未知的樣品時,適用WDS;若能預測一定程度的成分時,且考慮操作性時,則適用EDS。
試用產業
(1) 學校研究
(2) 元素研究
 (3) 礦物、金屬成份研究
(1) 產業界品管
(2) 塑料重金屬
(3) 金屬薄膜厚度
(4) 金屬成份研究
 
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