X-ray螢光-XRF 波長分散方式(WDS-XRF)與能量分散方式(EDS-XRF)之比較

波長分散方式(WDS-XRF)與能量分散方式(EDS-XRF)之比較

種類/說明項目	波長分散方式 (WDS)	能量分散方式 (EDS)	說明
分析元素	Be～U	Na(C)～U	波長分散式用於玻璃及礦物研究能量分散式用於一般塑料/土壤/金屬/檢測及品管
多元素同時測定	單個元素	多元素	WDS的設定，可同時測定最大28個元素，一般用逐次方式測定(每個元素需要一定的時間)。 EDS可全元素分析
測定濃度範圍	1 ppm～100%	1.7 ppm～100%	EDS的檢出下限常因目的元素和基質而異，而WDS則根據裝備的分光晶體而有所不同。
能量解析度	約0.2%～	約2.5%～	EDS的解析度較差，但用波峰分離軟體可實現接近波峰的分離和定量。
樣品前處理	需要	不需要	WDS雖然解析度高但樣品不規則,及不同厚度及基值亦會影響數據, 受樣品表面的精細度和顆粒度的影響，欲測得精確的定量必須對樣品進行塊狀加工、表面研磨等前處理。 EDS可分析不規則樣品, SII的EDS甚至已考量樣品厚度, 種類, 精準量測。
測定時間	數分～數十分鐘	數十秒	EDS可用短時間進行多種元素的同時測定。
對測定元素的影響	有(無)	無關	EDS因立體角度大，最大必v為50w左右，WDS則必須利用分光晶體，所以必v一般為數kw左右。因此，樣品為輕元素(纖維、塑膠、半導體等)時，照射時間會變長，並受熱量的損壞。
操作性	複雜	簡單	WDS測定條件設定複雜, 。 EDS操作條件設定簡單。
儀器尺寸與重量	大型(落地型)	小型(台式)	EDS只須添加所需量的液態氮，不需特別設備，而WDS則因必v大，需迴圈冷卻水裝置與樣品的前處理。
儀器價格	價格高	價格低
適合何種測定	開發研究	常規測定	開發研究完全未知的樣品時，適用WDS；若能預測一定程度的成分時，且考慮操作性時，則適用EDS。
試用產業	(1) 學校研究 (2) 元素研究 (3) 礦物、金屬成份研究	(1) 產業界品管 (2) 塑料重金屬 (3) 金屬薄膜厚度 (4) 金屬成份研究