- 儀器介紹 -
21.Jul.2025
3D數位顯微鏡 HIROX 3D數位顯微鏡實現快速且精準尺寸及粗糙度測量？
3D數位顯微鏡如何實現快速且精準測量－以Hirox型號HRX-01為例
2D尺寸測量範例
▲圖一 Hirox數位顯微鏡可輕鬆地進行擴展觀察，而不受景深的限制
受測樣品的實際影像，透過黃色線條與黃色邊框標示多個測量項目，包括：
- 長度、寬度（µm）
- 面積（µm²）
- 圓直徑、距離等幾何參數
▲ 圖二 HRX-01實際操作介面影像的水平視野為37mm，影像解析度為每像素4.99µm
紅色圓框為應量測位置，所得量測資訊：
- 圓周率=33344.39 µm
- 半徑=5306.92 µm
- 直徑=10613.85 µm
- 面積=88478072.93 µm²
3D測量範例
▲ 圖三 受測類半球樣品的橫切面，沿Z軸所建立高度剖面圖標示多個測量項目
尺寸量測：
- 垂直高度：4 μm
- 平均高低差(表面波動參考)：0 μm
- 半徑：2 μm
表面粗糙度量測：
- Ra（平均粗糙度）: 6.0 μm
- Rz（最大高低差）: 13.9 μm
- Rzjis（JIS標準最大高低差）: 13.5 μm
- Cut-off Length值(截止波長值)：0.2 mm
▲ 圖四 HRX-01實際操作介面
| 說明1. | 受測樣品的3D高度重建圖 | |
| 說明2. | 色彩表示高度變化 |
|
| 說明3. | 量測數據表 |  |
| 編號 | 參數名稱 | 數值 | 說明 |
| 1 | Z-Max/Min | 367.3 µm | 單一波峰的最大/最小高差 |
| 2 | Z-Max/Min | 380.6 µm | 另一波形高低差 |
| 3 | Angle Shape | 55.1° | 坡度角度（剖面） |
| 4 | Z-Average Difference | 135.0 µm | 平均高度差 |
| 5 | Radius | 336.3 µm | 曲面圓弧半徑 |
| 6 | Width | 417.9 µm | 峰寬或週期寬度 |
▲ 圖五 剖面分析圖顯示剖面高度變化（Z軸對X軸）
- 清楚描繪出週期性波形
- 標註Z-Max、Z-Min、高度差、角度、寬度等資訊
- 綠線、紅線代表量測標準線位與關鍵節點
- 圓形標記表示某一段「曲率半徑」量測
其他相關訊息
-
23.Jun.2025X-ray螢光-XRF 線上型XRF自動化材料驗證首選：Vanta iX 實現智慧製造
-
31.Mar.2025X-ray螢光-XRF Vanta 2七項革新軟硬體設計，引領XRF元素分析檢測新世代
-
17.Feb.2025X-ray影像-X-ray 自動化 X-ray 影像系統 AXI：實現客製化智能品管
