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16.Jun.2025
科邁斯將與Lasertec合作共同推廣奈米雙光源共軛焦顯微鏡
科邁斯將與Lasertec合作共同推廣雙光源共軛焦顯微鏡 Confocal MicroscopyLasertec是一家日本半導體生產及檢測設備製造商，總部位於日本新橫濱。 Lasertec專精於半導體晶圓和光罩的光學檢測設備研發和製造。 Lasertec 的主要產品是半導體ACTIS EUV 檢測機，用於檢測尖端半導體的光罩及晶圓製造缺陷，並在全球只有Lasertec能生產出這種EUV 紫外光微影的光罩檢測設備，在先進製程的光罩檢測具有高獨占性，也是這類EUV 光罩檢測的規格制定者，主要客戶就是台積電，英特爾與三星等半導體客戶. Lasertec除生產製程用檢測設備也提供研發應用的雙光源共軛焦顯微鏡，適用於半導體及精密零組件及各領域研發單位。
▲圖二 雷射共軛焦顯微鏡 Laser Confocal Microscopy
同時具有白光共軛焦顯微鏡White Light Confocal Microscopy功能
Lasertec 的特殊市場地位：
⋆ 在全球半導體檢測設備市場佔有領先地位, 尤其是先進製程的光罩相關製作與檢測規格。
⋆ 擁有EUV相關製程尺寸檢測設備的壟斷地位。
⋆ Hybrid雙光源共軛焦顯微鏡同時包含雷射共軛焦與白光共軛焦雙功能。
⋆ 在東京證券交易所掛牌並被納入日經225指數。
註:共軛焦顯微鏡有些翻譯為共焦顯微鏡, 但專有名詞都是Confocal Microscopy
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