- 技術訊息 -
28.Aug.2025
高解析顯微鏡 雙光源系統搭配共軛焦光學：讓成像解析度更佳
雙光源系統搭配共軛焦光學：讓成像解析度更佳
一、什麼是雙光源系統？
雙光源是指結合白光與雷射兩種光源於同一顯微鏡系統中。白光源提供全波段的波長範圍，適合觀察樣品的表面結構與色彩細節；雷射光源則具備單色性好、強度高與方向性佳的特性，適合進行螢光激發與共軛焦成像。雙光源系統優勢在於靈活切換觀察模式，兼顧表面成像品質與解析深層結構。
二、什麼是共軛焦光學？
（1）當光源的光聚焦樣品表面時，反射光同時也聚焦在偵測器上；此時反射光能被針孔光圈偵測並且通過光圈。但若光未聚焦在樣品表面時，則大部分的光均會被針孔光圈擋住，則無法進入偵測器。(圖1)
（２）共軛焦與非共軛焦的成像差異。(圖2)
（３）依偵測到聚焦位置的反射光(IZ曲線)，實現高Z軸解析度。(圖3)
因此，共軛焦光學只會偵測聚焦平面的反射光，能夠有效排除背景光的干擾，提升影像清晰度。
▲圖一 共軛焦光線示意圖
▲圖二 共軛焦成像
▲圖三 IZ曲線
三、成像解析度更佳－以Lasertec 型號OPTELICS HYBRID+為例
1. 3D輪廓量測(3D Profile Analysis)
奈米壓印樹脂模具可量測到45奈米的高低落差。
▲圖四 奈米壓印樹脂模高低落差量測
2. 亮度輪廓量測(Brightness profile analysis)
擷取圖案線條的亮度數據，建構亮度輪廓圖進行量測；適用半導體圖案極小高度差的樣品。
▲圖五 亮度輪廓圖量測
3.平面量測
微米等級量測條件下，針對印刷電路板上的高密度銅線測量線寬、線距、角度、圓度等幾何參數。
▲圖六 電路板銅線量測
4.量測高度差
小於１μm高低差的量測條件下，針對TFT彩色濾光片基板測量彩色濾光層膜厚均勻性、黑矩陣高度、表面平整度。
▲圖七 TFT彩色濾光片基板膜厚量測
5.XZ截面測量膜厚(XZ cross sectional measurement)
以PI薄膜表面與透明樣品界面之間的測量距離，計算出薄膜厚度。
▲圖八 PI薄膜厚度量測
若有任何技術問題或產品需求，歡迎與我們聯絡！
☎️ +886-2-8990-1779
其他相關訊息
-
05.Jan.2026高解析顯微鏡 Lasertec雙光源共軛焦顯微鏡如何應用表面粗糙度量測功能分析銅箔
