X-ray螢光-XRF掃描式全元素分析：Hitachi EA1400 如何實現 Na(11)~U(92) 的卓越檢測性能

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掃描式全元素分析：Hitachi EA1400 如何實現 Na(11)~U(92) 的卓越檢測性能

在當前高度複雜且全球化的材料供應鏈中，XRF應用於單純的有害物質「RoHS合規篩檢」已不足以應對多變的市場需求。從輕元素鈉 (Na) 到重元素鈾 (U) 的全元素掃描能力，現已轉化為企業確保「供應鏈品質」的核心戰略。無論是新材料研發時的試驗品分析、或量產過程中的品質管控，Hitachi EA1400 全元素即時掃描皆能提供即時決定性的快速精準判訂。

▲圖一 Hitachi EA1400 XRF 元素分析儀：進行全元素分析

相較於 ICP-OES/MS 或原子吸收光譜儀AAS或傳統滴定法，等濕式化學分析，能量散射型 X 射線螢光光譜儀 (EDXRF) 具備「非破壞性檢測」的絕對優勢。它無需繁瑣的酸消解前處理，即可在維持樣品完整性的前提下，實現高度重複性的多元素同時分析。

Hitachi EA1400 進行掃描式全元素具備四大特點：

（1）新型高計數率串列式 SDD 檢測器：作為設備的「心臟」，EA1400 搭載了最新研發的串列式矽漂移檢測器 (New SDD)。該檢測器具備極高的量子計數效率與靈敏度，能大幅降低元素的檢出下限（例如黃銅中的鎘），並顯著提升分析吞吐量，使測量時間縮短達 50%。

（2）光學幾何優化：垂直同軸配置與非平整樣品分析：不同於傳統的斜向照射技術，EA1400 採用 X 射線管垂直向上照射搭配同軸樣品觀察機構。此設計能精確對準樣品上的目標點，對於具備凹槽、微小異物或凹凸不平表面的複雜幾何樣品，能有效消除陰影死角，實現精準的定位量測與分析穩定性。

（3）寬敞真空樣品室：設備配置了領先業界的大容量真空樣品室，尺寸達 304 (W) × 304 (D) × 110 (H) mm。透過穩定的真空環境，能排除空氣對低能量 X 射線的吸收干擾，確保 Na（鈉）、Mg、Al、Si、Cl 等關鍵輕元素的檢測穩定性，並支援多樣品自動切換分析。

▲圖二　Hitachi EA1400 真空樣品室

（4）智慧化管控：HS EASY2 軟體與趨勢管理： HS EASY2 軟體旨在降低操作門檻，透過材料判定功能自動選擇最適分析條件（Recipe），減少人為選擇錯誤。其具備的趨勢管理 (Trend Management) 功能，能將特定元素的濃度波動圖表化監控，協助品保與生產人員進行製程穩定性分析，有效提升品質控管效率。

Hitachi EA1400 結合了強大的硬體規格與直覺化的軟體功能，為需要全元素分析的實驗室提供了最可靠的解決方案。無論是面對複雜的材料研發還是嚴苛的品管要求，EA1400 都能助您一臂之力。

Hitachi EA1400 XRF 元素分析儀