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- 技術應用 -
24.Feb.2016

X-ray螢光-XRF 穿透式X-ray檢測技術大躍進



穿透式X-ray是當前非破壞檢測內部缺陷分析最效率且快速之方法,尤其目前高端精密零件都已達微米甚至奈米等級,因此穿透式X-ray檢測能力更成了最不可或缺的分析工具之一。

隨時代躍遷快速,人們追求更輕、更薄、更小的科技產品,首當其衝就是半導體封裝相關產業,為突破制程上的奈米級技術,提高產品合格率,快速發現問題修改RD設計缺陷,首要即為需可快速精確分析樣品defect,因此穿透式X-ray能力也從微米(µm)細節分辨,提升至目前更高階奈米(nm)非破壞檢測能力。

以下為兩種不同光管聚焦能力檢測實例:
光管聚焦能力 微米等級Micro Focus 奈米等級Nano Focus
二維檢測圖片 20160224--1

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CT三維分析 20160224--5 20160224--6

(以上為半導體封裝之內部部件


從上我們可以看出奈米聚焦的細微分析能力,遠大於一般的微米解析。除此之外,一般型穿透式X-ray光機,雖可以達到某種程度上判斷需求,但隨著材料複雜的多樣化程度,多層次樣品疊加之後,往往測試結果會非常模糊,因此在進階的硬體改良上,儀器增加了濾化補正效果,得以呈現出半導體封裝或高階精密零件最原始的高對比判別結果。
 
處理差異 一般X-ray分析 進階的硬體濾片銳化後效果
檢測圖片 20160224--7 20160224--8

高對比的檢測呈現,除了加速使用人員判斷率,同時目前穿透式X-ray軟體都搭載Void孔洞軟體自動分析,黑白更清晰的呈現對比,優化更精准的孔洞百分率,讓自動化能力漸漸取代人為耗時的輔助判斷。

非破壞檢測的穿透式X-ray已是未來精密產品把關的必要分析工具,產品好壞在過往沒有檢測分析的能力情況下,用戶端及供應端只能從研發和製造端的書面資料佐證產品優劣,沒有一個強而有力的工具去精確分析,但隨著穿透式X-ray的迅速硬體提升,為半導體封裝產業及其他非破壞檢測取向客戶,達成互惠雙贏的局勢。
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