高解析顯微鏡 Hirox 3D數位顯微鏡如何運用360°旋轉鏡頭模組觀察電子元件的深處缺陷？

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半成品進行品檢時，當半成品為多層結構或是具深度的底層結構時，一般傳統數位顯微鏡無法以固定角度觀察到半成品的完整細節，只能由使用者因需求打造特定製具才可符合觀察特定角度，本文以Hirox 3D數位顯微鏡的獨家專利360°旋轉鏡頭模組實測是否可實現多結構與深度表面結構觀察。

一、獨家專利360°旋轉鏡頭模組的操作特點

二、範例實測-3C平板前鏡頭模組

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▲圖一影像的水平視野為583微米，影像解析度為每像素1微米

將樣品以平放與兩種傾斜角度擺放於載台，進行前鏡頭模組觀察

▲圖二將樣品以平放與兩種傾斜角度擺放於載台，進行前鏡頭模組觀察

(2) 以三個不同倍率並搭配其樣品擺放的不同傾斜角度進行觀察，發現銅質感應元件的下半部左右兩側有明顯的白色異物如圖三所示，由於受限下層結構位置的深度，無法觀察到異物完整的形貌。

以三個不同倍率並搭配其樣品擺放的不同傾斜角度進行觀察

▲圖三以三個不同倍率並搭配其樣品擺放的不同傾斜角度進行觀察

(3) 換上360°旋轉鏡頭模組後，在相同光源形式與倍率條件下，由影片一可示，透過設定手動旋轉、旋轉速度、順時針旋轉，直接切換倍率和觀察位置，即可觀察到銅質感應元件下半部兩側白色異物的完整形貌。

360°獨家專利旋轉鏡頭

▲圖四影片一 360°旋轉鏡頭模組可設定旋轉模式以及切換倍率和觀察位置

三、結語

當執行品質檢驗遇到多層結構或具深度的底層結構時，在一般固定角度下，仍無法觀察到樣品的全部樣貌，Hirox的獨家專利360°旋轉鏡頭模組提供「解決觀察角度受限」的選擇，並藉由設定手自動旋轉、旋轉速度、正逆時針轉向，以及鏡頭旋轉同時直接切換倍率與觀察位置等操作特點，讓使用者進行觀察時，因這個鏡頭模組而帶出更多的角度，使用者不用花費時間打造符合觀察角度的製具，也免除使用製具所帶來另外的景深限制問題。

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