• 品質因細節而決定

橢圓偏振光譜儀 產品型號:Semilab SE-2000

TECHMAX_CN_PRODUCTS_SEMILAB_SE-2000_01
  • 特點 規格
    量測 厚度, 反射率, 吸收率, 表面結構
    量測波長 632.8 nm(He-Ne 雷射)
    量測時間 100 ms~2 s
    量測厚度 2 nm~6000 nm
    樣品平臺 200 mm (自動 Rho/Theta)
    反射角檢測 自動 / 手動
    角度 45° – 90° / 12° – 90°
    變化角度 5° / 1°
    重複性 0.01°
    準確度 Psi:0.002°
    Delta:0.002°
    厚度精確度 0.01nm( 80nm Si3N4 on Si)
  • ▶ 半導體鍍膜
    ▶ 太陽能鍍膜
    ▶ 各種無機鍍膜
    ▶ 有機鍍膜

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