SEA5100A

微区分析X射线萤光分析仪
(Micro X-ray Fluorescent Analyzer, XRF)

热门应用领域∶

1.高灵敏度、高解析度

2.微区分析型XRF泛用机种，兼具元素分析与膜厚量测弁?/div>

3.定性定量范围可从碳(Na11)到?U92)

4.配置全自动XYZ轴样品自动移动平台，具备样品元素成份分布分析(Mapping)检测弁遄C

5.膜厚镀层分析灵敏度高，针对镀金(Au)的最低厚度分析能力可达5 nm，是BGA、半导体封装等高感度要求的客户是唯一的选择。

X射线发生部	照射方式	上部垂直照射方式
	电压	15,45,50kV 3段切换
	电流	4-1000μA
	靶材	Mo
	准直器	2个(自动切换)
检测器	形式	Si(Li) 半导体检测器
	真空瓶容量	10升
	消耗量	1升以下/天
	测定元素，检测器	N ~ U (Be窗口)
样品观察	CCD监视器	彩色，40万像素，1/2英寸
	观察倍率	30倍，90倍自动切换-
	照明	卤族元素灯
真空样品室	样品室门	抽出式
	真空泵	排气式真空泵(13pa)
	真空计	Pirani gauge
	排气所需要时间	2分，5-10分(大型样品室)
自动桌面弁?/div>	指定测量位置	在画面上利用滑鼠完成X-Y-Z的坐标输入
	设定测量位置	原点的坐标和画像保存以及位置偏差角度的修正
	确认测量位置	图表表示测量位置
	再测量弁?/div>	通过和测量位置的连动，可以进行再测量
样品台	80*80mm
移动量	75*75*35mm
最大样品厚度	35mm
载重量	3kg
X射线管球	自动聚焦
管电压	50kV
管电流	固定
准直器	Φ0.1mm
实际照射尺寸	Φ0.12mm
外形尺寸	590(W)*75(D)*710(H)mm 90kg
电源容量，接地	AC 100V±10% 15A 2系统  第3种接地

 

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