Laser Ellipsometer LE-100PV

雷射橢圓儀
(Laser Ellipsometer LE-100PV)

熱門應用領域:

                          Laser Ellipsometer LE-100PV

 

Specification

  1. 1. Measuring wavelength:632.8 nm (He-Ne Laser)
  2. 2. Measuring time:100 ms – 2 sec
  3. 3. Thickness range:2 nm – 6000 nm
  4. 4. Sample Stage:200 mm diameter, Auto Rho/Theta and manual tilt control
  5. 5. Goniometer:Manual control / Auto control
  6.                                Angle range:45° – 90° / 12° – 90°
                                   Step:5° / 1°
                                   Repeatability:0.01°

  7. 6. Accuracy:Psi:0.002°
  8.                                  Delta:0.002°

  9. 7. Measuring precision:thickness:0.01 nm
  10.                                             Refractive index:0.0002
                                                80 nm Si3N4 on silicon

 

熱門應用領域 : 半導體鍍膜, 太陽能鍍膜, 各種無機鍍膜, 有機鍍膜

 

 

特點

規格

量測:

厚度, 反射率, 吸收率, 表面結構

量測波長

632.8 nm(He-Ne 雷射)

量測時間

100 ms~2 s

量測厚度

2 nm~6000 nm

樣品平台

200 mm (自動 Rho/Theta)

反射角檢測

自動/手動

角度 45° – 90° / 12° – 90° 

變化角度

5° / 1° 

重複性

0.01°

準確度

Psi:0.002°
Delta:0.002°

厚度精確度

0.01nm( 80nm Si3N4 on Si)

半導體鍍膜
太陽能鍍膜
各種無機鍍膜
有機鍍膜

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